Cryopompen worden gemaakt volgens het principe van gascondensatie, cryogene adsorptie, cryogene trapping of afzuiging om vacuüm te verkrijgen.
1. Afhankelijk van de werkdruk van de pomp, kan deze worden onderverdeeld in cryopomp voor continu stroombereik, cryopomp voor moleculair stroombereik, meestal condensaatpomp plus een adsorptiefase of een cryogene opvangfase.
2. Volgens de koelmethode kan het worden onderverdeeld in cryopomp voor opslagtank, cryopomp met verdamping en cryopomp voor koeling. Onder hen gebruiken de opslagtank-cryopomp en de verdampings-cryopomp beide vloeibaar koelmiddel voor koeling, het koelschildoppervlak is veelgebruikte vloeibare stikstof en het cryogene oppervlak wordt gewoonlijk gebruikt vloeibaar helium of gashelium voor koeling. Vanwege de ontvlambaarheid, explosiviteit en hoge prijs van vloeibare waterstof wordt het ondanks de hogere verdampingsenthalpie nog steeds zelden gebruikt dan vloeibaar helium.
Koel-cryopomp koelkasten worden vaak gebruikt door Gifford. McMahon-type (aangeduid als GM-koelkast) en Stirling-type (aangeduid als St-koelkast). Voor koel-cryopompen met een hoge pompsnelheid kan een koelkast met vloeibare heliumtemperatuur worden gebruikt, en een JT-klep kan worden ingesteld om een koelapparaat voor vloeibare circulatie te vormen, en soms wordt vloeibare stikstof in een vloeistofopslagtank of een stikstofvervloeiingsmachine gebruikt om koel het schot en het afschermingsoppervlak.
De belangrijkste prestaties van cryopomp:
①Hoger dan de pompsnelheid, beter dan alle andere soorten pompen.
② Er zijn geen beperkingen aan de vorm, het kan worden ondergedompeld in de vacuümkamer of met een flens aan de wand van de vacuümkamer worden bevestigd.
③Het kan een volledig schoon vacuüm leveren zonder vervuiling van het vacuümsysteem.
④Vacuümgraad van extreem lage druk kan worden verkregen, zoals onder 10-12Pa. Bovendien is de werking van de cryopomp betrouwbaar en wanneer de pompsnelheid relatief hoog is, zijn de bedrijfskosten van de investering lager dan die van de traditionele vacuümpomp en is het eenvoudig om automatisering te realiseren.