Cryopompen worden ook veel gebruikt in het leven van vandaag. Veel mensen hebben misschien nog nooit van cryopompen gehoord. Cryopompen zijn een soort vacuümpomp die gebruik maakt van oppervlaktecondensatiegas bij lage temperaturen. Het voordeel is dat het pompvermogen het grootst is. Laten we vandaag eens kijken naar cryogene pompen Hoe de pomp werkt.
Het werkingsprincipe van de cryopomp is om het gas te gebruiken om fysiek te adsorberen op het ultralage temperatuuroppervlak om het effect van uitputten te bereiken. Het is een effectieve en snelle methode om een schoon vacuüm te verkrijgen.
De cryopomp kan een extreem hoog vacuüm bereiken (10-11Pa) en heeft de voordelen van een hoge uitlaatsnelheid, geen olie en onbeperkte installatierichting.
In de eerste fase van de cryopomp worden een afschermingsdeksel en baffle ingesteld en wordt de temperatuur op 80K gehouden. De secundaire koelfase werd gehandhaafd op 15K en er werden een cryogene afdekking en een adsorbens met actieve kool op ingesteld.
Waterdamp is gestold op het 80K-schild en de 80K-baffle; stikstof, zuurstof en argon worden gestold op de 15K cryogene hoes; waterstof, helium en neon worden geadsorbeerd aan het adsorbens in de 15K cryogene hoes. De cryopomp kan alle gassen afvoeren, maar als de hoeveelheid geadsorbeerd gas te groot is, wordt de uitlaatsnelheid verlaagd. In dit geval is het noodzakelijk om de cryopomp te verwarmen, het geadsorbeerde gas vrij te geven en opnieuw te gebruiken.
Cryopump Kenmerken
Een cryopomp is een vacuümpomp die een oppervlak met lage temperatuur gebruikt om gas te condenseren, ook wel condensaatpomp genoemd. De cryopomp kan een schoon vacuüm verkrijgen met de hoogste pompsnelheid en de laagste einddruk, en wordt veel gebruikt in het onderzoek en de productie van halfgeleiders en geïntegreerde schakelingen, evenals moleculair bundelonderzoek, vacuümcoatingapparatuur, vacuümoppervlakanalyse-instrumenten, ionimplantatoren en ruimtesimulatie-apparaten, enz.
Een cryopomp is een vacuümpomp die het condensatie-effect van een koeloppervlak bij zeer lage temperatuur (≤77K) gebruikt om gas uit het systeem te verwijderen. Sinds de jaren 1960 wordt cryogene verpomping steeds vaker gebruikt bij de verwerving en toepassing van vacuüm.
Een cryopomp is een schone vacuümpomp. Omdat het cryogene medium slechts een koelmiddel is dat het zuigoppervlak van de pomp koelt en wordt opgeslagen of gecirculeerd in een gesloten container, heeft het geen contact met de vacuümruimte. Deze functie is van cruciaal belang voor bepaalde vacuümsystemen die schone, olievrije vacuümsystemen vereisen.
Cryopompen kunnen voor de meeste gassen zeer lage partiële drukken en zeer hoge pompsnelheden bereiken. Wanneer de cryopomp werkt in vloeibaar heliummedium, heeft het ook de voordelen van een grote werkelijke pompcapaciteit en niet-selectief pompen (behalve helium).
Cryopompen spelen een vitale rol in het onderzoek en de productie van halfgeleiders en geïntegreerde schakelingen, moleculair bundelonderzoek en andere gebieden. Het is een schone vacuümpomp. Het bovenstaande gaat over het werkingsprincipe van cryopompen.