Volgens de leveringsmethode van het medium worden cryopompen onderverdeeld in de volgende typen:
Cryogene pomp voor opslagtank: medium met lage temperatuur (vloeibaar helium) wordt direct in de opslagtank in de pomp geïnjecteerd om het gas te condenseren om het doel van het pompen te bereiken.
De voordelen van de cryopomp van de opslagtank zijn dat de pomp klein van formaat is, geen trillingen, geen lawaai en eenvoudig te bedienen is.
Het nadeel van de cryogene pomp van de opslagtank is dat de bedrijfskosten hoog zijn, de gebruikstijd van elke vulling van het medium met lage temperatuur kort is en dat het vacuümsysteem dat gedurende lange tijd continu moet werken, periodiek de werking moet aanvullen. medium, en wordt beperkt door de leveringsvoorwaarden van het medium met lage temperatuur.
Proces cryopomp: De cryopanel-koelleiding in de pomp is verbonden met de koelexpander en het cryogene medium (gashelium) wordt via de buitenste pijpleiding aan de cryopomp toegevoerd, absorbeert de warmte van het cryopanel en keert vervolgens terug naar de koelcompressor om een gesloten kringloop vormen. Het volume van de pomp is enorm, de pijpleiding is gecompliceerd en het koelverlies van de pijpleiding is groot.
Het voordeel van de proces-cryopomp is dat deze een groot koelvermogen heeft en het meest geschikt is voor het verwijderen van atmosferisch volume of een grote vacuümkamer.
Kleine cryopomp voor koelkasten: De cryopomp voor kleine koelkasten met gesloten cyclus bestaat uit een pomplichaam voor lage temperatuur, een cryopaneel voor luchtextractie, een stralingsafschermingsplaat, een koelkast en een compressor.
Het grootste verschil tussen de cryogene pomp van de kleine koelkast en de cryogene pomp van het proces is dat de eerste en tweede koelkoppen van de koelkast direct zijn verbonden met het stralingsscherm en de koude plaat, en de stroming in de verbindingsleiding tussen de koelkast en de compressor is normale temperatuur, hoge (of lage) temperatuur. ) onder druk staand gasmedium, er is geen transportprobleem van medium bij lage temperatuur en het heeft de voordelen van een proces-cryopomp en opslagtank-cryopomp. Het is momenteel een ideale schone ultrahoge vacuümpomp.
Kleine cryopompen voor koelkasten worden veel gebruikt in de voorbereiding van dunne films, micro-elektronicatechnologie, hoge-energiefysica, apparatuur voor kleine ringmatrijs en andere industriële gebieden.